Keyence VK-X3000

Name: Keyence VK-X3000
Brand: Keyence
SKU: VK-X3000

型番（MPN）: VK-X3000 · ブランド: Keyence

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基本情報

在庫状況	お問い合わせにより確認
カテゴリー	3D Surface Profiler
ライフサイクル	active
保証	12か月（新品）・3か月（中古・整備済み）
重量	3 kg

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Controller. VK-X3000. Series: 3D Surface Profiler. Series code: VK-X3000 series

仕様

Specifications

Model Name	Controller
Model Code	VK-X3000
Series Title	3D Surface Profiler
Series Code	VK-X3000 series
Data Sheet URL	https://www.keyence.com/download/download/confirmation/?dlSeriesId=WS_157126&dlModelId=PM_15X3000&dlSiteId=1&dlLanguageId=en-US&dlLangType=en-US
Model	VK-X3000
Type	Controller
Total magnification	42 to 28800×*1
Field of view	11 to 7398 μm
Measurement principle	Laser confocal, Focus variation, White light interferometry, Spectral interference
Laser wavelength	VK-X3100: Semiconductor laser, 404 nmVK-X3050: Semiconductor laser, 661 nm
Max. laser measurement speed	Surface: 125 Hz, Line: 7900 Hz*2
Max. laser output	1.0 mW
Laser class	Class 2 Laser Product (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*3)
Laser light-receiving element	16-bit photomultiplier
White light source	White LED
White-light-receiving element	High-definition color CMOS
Laser confocal - Height display resolution	VK-X3100: 0.1 nmVK-X3050: 1 nm
Laser confocal - Height repeatability σ	VK-X3100: 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 12 nmVK-X3050: 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm
Laser confocal - Height accuracy	0.2+L/ 100 μm or less*4
Laser confocal - Width display resolution	VK-X3100: 0.1 nmVK-X3050: 1 nm
Laser confocal - Width repeatability 3σ	VK-X3100: 10×: 200 nm, 20×: 100 nm, 50×: 40 nmVK-X3050: 10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm
Laser confocal - Width accuracy	Measured value ±2% or less*4
Focus variation - Height display resolution	VK-X3100: 0.1 nmVK-X3050: 1 nm
Focus variation - Height repeatability σ	VK-X3100: 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 20 nmVK-X3050: 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm
Focus variation - Height accuracy	0.2+L/ 100 μm or less*4
Focus variation - Width display resolution	VK-X3100: 0.1 nmVK-X3050: 1 nm
Focus variation - Width repeatability 3σ	VK-X3100: 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 50 nmVK-X3050: 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm
Focus variation - Width accuracy	Measured value ±2% or less*4
White light interferometry - Height display resolution	0.01 nm
White light interferometry - Width display resolution	0.1 nm
White light interferometry - Surface topography repeatability	0.08 nm*5
White light interferometry - Repeatability of RMS	0.008 nm*5
Spectral interference film thickness measurement - Repeatability σ	0.1 nm*5
Spectral interference film thickness measurement - Accuracy	±0.6%*5
Optical observation - Number of pixels	5.6 million
Optical observation - Revolver	6-hole electric revolver
Optical observation - Ring illumination lens	2.5×, 5×, 10×
Optical observation - Optical zoom	1 to 8×
XY stage configuration - Manual operation range	70 × 70 mm 2.76” × 2.76”
XY stage configuration - Motorized operation range	100 × 100 mm 3.94” × 3.94”
Power supply - Power voltage	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
Power supply - Power consumption	150 VA
Environmental resistance - Ambient temperature	+15 to 28°C 59 to 82.4°F
Environmental resistance - Relative humidity	20 to 80% RH (No condensation)
Weight	Approx. 3 kg